UHV-Kammer für Dünnschichtabscheidung
Diese Beschaffung wird gefördert und finanziert von der Thüringer Aufbaubank im Rahmen
des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE-Programm 2021-2027 Thüringen) und aus Landesmitteln:
Förderprogramm: Richtlinie zur Förderung der Forschung (FTI-Thüringen FORSCHUNG) vom 13.06.2022, ThürStAnz. Nr. 28/2022, S. 783 f., in Kraft getreten zum 14.06.2022
Vorhabens-Nr.: 2024 FGI 0015