Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem für die Synthese von Oxid, Oxinitrid und Nitrid Dünnfilmen
Gegenstand des Auftrags ist Lieferung und Installation (inkl. Training) eines reaktiven Magnetron Co-Sputter-Systems zur Herstellung von Oxid-, Oxinitrid- und Nitrid-Dünnfilmen mit kontrollierten Zusammensetzungen.
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Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)§ 160 Einleitung, Antrag(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit1.der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt,2.Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,3.Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,4.mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende, unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen.
Eigenerklärung über den Gesamtumsatz des Bieters, jeweils der letzten drei (3) abgeschlossenen Geschäftsjahre, jeweils in EUR netto.
Eigenerklärungen über je mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.). Maßstab der Vergleichbarkeit ist die in der Leistungsbeschreibung geforderte Lieferleistung.
Die verschiedenen Referenzen müssen nicht jeweils alle in der Leistungsbeschreibung geforderten Komponenten enthalten. Jedoch muss durch die Summe der mindestens 3 Referenzen der wesentlichen Teil der Komponenten, wie Sputterkammer, in-situ tilt Magnetorn-Sputterquellen, Pumpensystem, Powergeneratoren (RF, DC, pDC), Schleuse mit automatischem Einzelwafer-Transfer, Dünnschichtmonitor, pneumatische Shutter, Gasdosiersystem (in andere Variante), Computersteurung, Software, und Heizer, abgedeckt sein.