Geliefert werden soll ein Clustersystem für das reproduzierbare Abscheiden von Dünnschichten mittels Kathodenzerstäubung für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik.
Daher wird ein vollautomatisiertes Sputterclustersystem benötigt, welches über eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, eine Transferkammer, eine Heizkammer sowie zwei Prozesskammern für das Sputtern verfügt.
In den jeweiligen Prozesskammern werden Heizsysteme für die Temperierung der Proben sowie optische Emissionsspektrometer (OES) benötigt. Die benötigten Schichtsysteme unterscheiden sich in zwei Kategorien: Reaktiv gesputterte Schichten wie Nitride oder Oxide und inert gesputterte hochreine metallische Schichten. In beiden Fällen ist die Co-Abscheidung von bis zu vier verschiedenen Quellmaterialien entscheidend für die Leistungsfähigkeit der Schichten. Somit wird eine konfokale Anordnung der Targets benötigt. Die Substratgröße soll von Chiplevel bis zu 200 mm Wafern reichen und die Aufnahme der Proben soll auf drehbaren Substrathalter erfolgen.
Das Sputtercluster wird im Reinraum der Klasse ISO 5 aufgestellt, weshalb das System mit einer entsprechenden Kompatibilität und in einem sauberen Zustand angeliefert werden muss. Perspektivisch soll das System erweiterbar sein durch ein kompatibles Ionenstrahlätzsystem (IBE). Besonderes Augenmerk wird ebenfalls auf die Nachhaltigkeitsziele der Abfallvermeidung, der Schadstoffminimierung in Abfällen, der Abfallverwertung, des Ressourcenschutzes sowie Einsparung von Energie und Wasser gelegt.
Neben der Lieferung frei Verwendungsstelle des Hauptgeräts umfasst der Leistungsumfang die Montage, Inbetriebnahme sowie anschließender Abnahme des Systems und die Einweisung.
Der gewünschte Liefertermin ist der 01.07.2027. Alle Liefertermine, die vor dem 01.07.2027 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet.
Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.500.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten. Alle Preise sind in Euro und Brutto anzugeben.
Den Zuschlag wird das wirtschaftlichste Angebot bekommen.
Bei der Ermittlung des wirtschaftlich günstigsten Angebots werden die Kriterien aus dem beigefügten Leistungsverzeichnis angewendet. Mit dem Buchstaben A werden Ausschlusskriterien gekennzeichnet. Die Nichterfüllung einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung führt zum Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium). Mit dem Buchstaben B werden Bewertungskriterien gekennzeichnet. Die mit einem "B" gekennzeichneten Anforderungen stellen die innerhalb der Bewertungsskala mit Punkten zu bewertenden Kriterien dar und erhalten eine Gewichtung. Wenn aufgelistet, werden für jedes Bewertungskriterium 0 bis 10 Punkte vergeben, die mit dem angegebenen Gewichtungsfaktor in die Endpunktzahl eingehen. Das Feld Pflichtangaben ist vollständig auszufüllen. Wenn Felder "ja/nein" enthalten, ist hier die Angabe anzukreuzen, die angeboten wird.
Bei der Ermittlung des wirtschaftlich günstigsten Angebots werden u.g. und die im Leistungsverzeichnis zu findenden Kriterien angewendet. Für jedes Bewertungskriterium können 0 bis n (n = Anzahl der eingegangenen Angebote) Punkte vergeben werden, die mit dem angegebenen Gewichtungsfaktor in die Endpunktzahl eingehen. Voraussetzung für eine Bewertung ist jeweils die Beantwortung aller A-Kriterien mit Ja.
Die Vergabe erfolgt nach dem Niedersächsischen Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG). Dieses Gesetz soll Verzerrungen im Wettbewerb um öffentliche Aufträge entgegenwirken, die durch den Einsatz von Niedriglohnkräften entstehen, Belastungen für die sozialen Sicherungssysteme mildern sowie die umwelt- und sozialverträgliche Beschaffung durch die öffentliche Hand fördern. Entsprechende Angaben hierzu müssen dem Angebot beigefügt werden.
Ihr ausführliches - unterschriebenes bzw. digital signiertes - Angebot muss bis zum 08.04.2026 um 10.00 Uhr im Vergabeportal hochgeladen sein.
Die Zuschlagsfrist wird auf den 28.05.2026 festgesetzt. Die Zuschlagserteilung wird aber ggf. auch früher erfolgen. Bis zum Ablauf dieser Frist sind Sie an Ihr Angebot gebunden.
Weitere Informationen zu den Anforderungen sowie Zuschlags-und Bewertungskriterien entnehmen Sie bitte dem beigefügten Leistungsverzeichnis.
Eventuelle Fragen zum Leistungsverzeichnis bitte ich über das Vergabeportal zu stellen. Die Frist zur Einreichung von Aufklärungsfragen wird auf den 30.03.2026 festgesetzt.
Eventuelle Abweichungen vom Leistungsverzeichnis sind kenntlich zu machen, bzw. gesondert darzustellen.
Alle weiteren Informationen zu diesem Vergabeverfahren wie Änderungen der Leistungsbeschreibung, Beantwortung von
Bieterfragen oder sonstige verfahrensrelevante Informationen werden über das Vergabeportal bereitgestellt. Für Fragen und sonstige Kommunikation in diesem Verfahren ist ausschließlich die Kommunikationsfunktion des Vergabeportals zu verwenden.
Das Angebot ist in deutscher Sprache abzufassen und bis spätestens zum Ende der Frist vorzulegen. Angebote müssen in elektronischer Form eingereicht werden. Die Abgabe ist ausschließlich über das Vergabeportal möglich.
Eine Einreichung per E-Mail, Telefax oder in schriftlicher Form ist nicht zulässig.
Bitte beachten Sie die im Anschreiben aufgeführten Unterlagen, die Ihrem Angebot beigefügt werden müssen. Sie finden das Anschreiben unter "Vergabeunterlagen ->Anschreiben -> 3 IMPT - Konfokalsputteranlage Anschreiben.pdf".
Für die Beschaffung gelten die Allgemeinen Einkaufs-und Lieferbedingungen der Leibniz Universität Hannover. (Diese finden Sie unter "Vergabeunterlagen -> Vertragsbedingungen). Abweichungen bzw. eigens formulierte Einkaufs-oder Lieferbedingungen stellen eine Änderung der Vergabeunterlagen dar, welche einen zwangsweisen Ausschluss des Angebotes nach sich zieht.
Der Auftraggeber erstattet keine Kosten, die für die Teilnahme am Vergabeverfahren entstehen.