Geliefert werden soll ein Clustersystem für das reproduzierbare Abscheiden von Dünnschichten mittels Kathodenzerstäubung für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik.
Daher wird ein vollautomatisiertes Sputterclustersystem benötigt, welches über eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, eine Transferkammer, eine Heizkammer sowie zwei Prozesskammern für das Sputtern verfügt. In den jeweiligen Prozesskammern werden Heizsysteme für die Temperierung der Proben sowie optische Emissionsspektrometer (OES) benötigt.
Die benötigten Schichtsysteme unterscheiden sich in zwei Kategorien: Reaktiv gesputterte Schichten wie Nitride oder Oxide und inert gesputterte hochreine metallische Schichten. In beiden Fällen ist die Co-Abscheidung von bis zu vier verschiedenen Quellmaterialien entscheidend für die Leistungsfähigkeit der Schichten.
Somit wird eine konfokale Anordnung der Targets benötigt. Die Substratgröße soll von Chiplevel bis zu 200 mm Wafern reichen und die Aufnahme der Proben soll auf drehbaren Substrathalter erfolgen. Das Sputtercluster wird im Reinraum der Klasse ISO 5 aufgestellt, weshalb das System mit einer entsprechenden Kompatibilität und in einem sauberen Zustand angeliefert werden muss.
Neben der Lieferung frei Verwendungsstelle des Hauptgeräts umfasst der Leistungsumfang die Montage, Inbetriebnahme sowie anschließender Abnahme des Systems und die Einweisung.
Der gewünschte Liefertermin ist der 01.07.2026. Alle Liefertermine, die vor dem 1. Juli 2026 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet.
Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.500.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten.
Den Zuschlag wird das wirtschaftlichste Angebot bekommen.
Bei der Ermittlung des wirtschaftlich günstigsten Angebots werden die Kriterien aus dem beigefügten Leistungsverzeichnis angewendet. Mit dem Buchstaben A werden Ausschlusskriterien gekennzeichnet. Die Nichterfüllung einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung führt zum Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium). Mit dem Buchstaben B werden Bewertungskriterien gekennzeichnet. Die mit einem "B" gekennzeichneten Anforderungen stellen die innerhalb der Bewertungsskala mit Punkten zu bewertenden Kriterien dar und erhalten eine Gewichtung. Wenn aufgelistet, werden für jedes Bewertungskriterium 0 bis 10 Punkte vergeben, die mit dem angegebenen Gewichtungsfaktor in die Endpunktzahl eingehen. Das Feld Pflichtangaben ist vollständig auszufüllen. Wenn Felder "ja/nein" enthalten, ist hier die Angabe anzukreuzen, die angeboten wird.
Die Vergabe erfolgt nach dem Niedersächsischen Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG). Dieses Gesetz soll Verzerrungen im Wettbewerb um öffentliche Aufträge entgegenwirken, die durch den Einsatz von Niedriglohnkräften entstehen, Belastungen für die sozialen Sicherungssysteme mildern sowie die umwelt- und sozialverträgliche Beschaffung durch die öffentliche Hand fördern. Entsprechende Angaben hierzu müssen dem Angebot beigefügt werden.
Ihr ausführliches - unterschriebenes bzw. digital signiertes - Angebot muss bis zum 28.08.2025 um 10.00 Uhr im Vergabeportal hochgeladen sein.
Die Zuschlagsfrist wird auf den 25.09.2025 festgesetzt. Die Zuschlagserteilung wird aber ggf. auch früher erfolgen. Bis zum Ablauf dieser Frist sind Sie an Ihr Angebot gebunden.
Weitere Informationen zu den Anforderungen sowie Zuschlags-und Bewertungskriterien entnehmen Sie bitte dem beigefügten Leistungsverzeichnis.
Eventuelle Fragen zum Leistungsverzeichnis bitte ich über das Vergabeportal zu stellen.
Eventuelle Abweichungen vom Leistungsverzeichnis sind kenntlich zu machen, bzw. gesondert darzustellen.