Es sind mindestens 3 Referenzen über erbrachte, vergleichbare Leistungen zum Leistungsgegenstand innerhalb der letzten drei Jahre zu erbringen. Als vergleichbar werden FIB-Anlagen (Focused Ion Beam) mit Ionenquellen für Gase (Ar, Xe, N, O) und kleinem Strahlfokus angesehen. Werden Weiterentwicklungen nötig, um die geforderten technischen Anforderungen zu erfüllen, sind diese mit konkreten Beschreibungen oder Simulationen zu erläutern.