Verfahrensangaben

Dual Beam Focused Ion Beam System (FIB) und Transmissionselektronenmikroskop (TEM)

VO: VgV Vergabeart: Offenes Verfahren Status: Veröffentlicht

Fristen

Fristen
10.08.2026
17.08.2026 23:59 Uhr

Adressen/Auftraggeber

Auftraggeber

Auftraggeber

Institut für Oberflächen- und Schichttechnik GmbH
UStID DE148647541
Trippstadter Straße 120
67663
Kaiserslautern
Deutschland
DEB32
wahl@ifos.uni-kl.de
+49 631205730

Angaben zum Auftraggeber

Zuwendungsempfänger, soweit nichts anderes zutrifft
Bildung

Gemeinsame Beschaffung

Beschaffungsdienstleister

Adresse

eureos gmbh steuerberatungsgesellschaft rechtsanwaltsgesellschaft
UStID DE267215971
Kramergasse 4
01067
Dresden
Deutschland
DED21
l.moerchen@eureos.de
+49 39156286912
Weitere Auskünfte
Rechtsbehelfsverfahren / Nachprüfungsverfahren

Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Vergabekammer Rheinland-Pfalz, c/o Ministerium für Wirtschaft, Tourismus, Energie und Klima
07-0001801100000-05
Stiftsstraße 9
55116
Mainz
Deutschland
DEB35
vergabekammer.rlp@mwvlw.rlp.de
+49 6131162234

Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

Auftragsgegenstand

Klassifikation des Auftrags
Lieferungen

CPV-Codes

38000000-5
Umfang der Beschaffung

Kurze Beschreibung

Los1: DualBeam Focused Ion Beam Systems (FIB)
Gegenstand ist die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie betriebsbereite Übergabe eines DualBeam Focused Ion Beam Systems (FIB) einschließlich Einweisung/Schulung und vollständiger Systemdokumentation. Die technischen Mindestanforderungen und Bewertungsaspekte ergeben sich aus den Dokumenten "Los1.25-1696.05.techn.Anforderungsprofil" und "Los1.25-1696.06.Wertungsmatrix".

Los2: Transmissionselektronenmikroskop (TEM)
Gegenstand ist die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie betriebsbereite Übergabe eines Transmissionselektronenmikroskops (TEM) einschließlich Einweisung/Schulung und vollständiger Systemdokumentation. Die technischen Mindestanforderungen und Bewertungsaspekte ergeben sich aus den Dokumenten "Los2.25-1707.05.techn.Anforderungsprofil" und "Los2.25-1707.06.Wertungsmatrix".

Beschreibung der Beschaffung (Art und Umfang der Dienstleistung bzw. Angabe der Bedürfnisse und Anforderungen)

Die Vergabe erfolgt in zwei Losen (Los 1: FIB, Los 2: TEM). Bieter, die Angebote für beide Lose abgeben, können zusätzlich ein Gesamtangebot (Kombinationsangebot) einreichen. Das Kombinationsangebot muss auf den angebotenen Einzel-Angeboten zu beiden Losen basieren; der Leistungsumfang des Kombinationsangebotes muss den Leistungsumfängen der Angebote auf die Einzellose entsprechen.

Das Kombinationsangebot ist zusätzlich zu den losweisen Angeboten einzureichen und muss:
- einen gesonderten Gesamtpreis für beide Lose (unter Berücksichtigung etwaiger Preisvorteile, z. B. Rabatte),
sowie
- eine Darstellung eines etwaigen losübergreifenden wissenschaftlichen, technischen, funktionalen oder organisatorischen Mehrwerts einer gemeinsamen Präparations- und Analytikplattform enthalten.

Umfang der Auftragsvergabe

EUR

Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Unbekannt
Erfüllungsort(e)

Erfüllungsort(e)

---
Deutschland
DEB32

Weitere Erfüllungsorte

Zuschlagskriterien

Zuschlagskriterien

Bewertung erfolgt über prozentual gewichtete Kriterien

Zuschlagskriterium

Preis
Preis (Angebote auf Einzellose und Kombinationsangebote)

Für das Zuschlagskriterium Preis erhält das Angebot mit dem niedrigsten (gewerteten) Preis 5 Punkte. Null Punkte erhält ein fiktives Angebot mit dem Doppelten des niedrigsten (gewerteten) Angebotspreises. Alle Angebote mit einem Angebotspreis über dem Doppelten des niedrigsten (gewerteten) Angebotspreises erhalten ebenfalls null Punkte. Die Punktebewertung für die dazwischenliegenden Angebotspreise erfolgt über eine lineare Interpunktion mit 4 Stellen hinter dem Komma.

Gewichtung
50,00

Zuschlagskriterium

Qualität
Technik (Angebote auf Einzellose bzw. Kombinationsangebote)

Für das Zuschlagskriterium Technik werden ausschließlich die nachgewiesenen technischen Leistungsparameter von im Dokument 06.Wertungsmatrix Abschnitt 2 (technische Übererfüllung (wertungsrelevant)) des jeweiligen Loses genannten Anforderungen bewertet.

Das Zuschlagskriterium Technik wird ermittelt, indem die Wertungspunkte der einzelnen Anforderungen jeweils mit dem festgelegten Gewichtungsfaktor gemäß Dokument "06. Wertungsmatrix", Abschnitt 2 ("technische Übererfüllung (wertungsrelevant)") des jeweiligen Loses, multipliziert und anschließend aufsummiert werden.

Die technische Bewertung eines Kombinationsangebotes setzt sich aus der technischen Bewertung der beiden Einzellose sowie der Bewertung des zusätzlichen wissenschaftlichen und funktionalen Mehrwerts der gemeinsamen Präparations- und Analytikplattform zusammen.

Unterkriterien für diesen Mehrwert sind:
K1 durchgängiger Probenworkflow zwischen FIB und TEM
K2 Qualität des Probentransfers
K3 korrelative Wiederauffindbarkeit identischer Probenbereiche
K4 gemeinsames Daten- und Projektmanagement
K5 gemeinsames Service- und Betriebskonzept

Ergänzend wird auf das Dokument "Gesamt.06.Wertungsmatrix.pdf."

Gewichtung
50,00
Weitere Informationen

Angaben zu Mitteln der europäischen Union

Angaben zu KMU

Angaben zu Optionen

Zusätzliche Angaben

Verfahren

Verfahrensart

Verfahrensart

Offenes Verfahren

Angaben zum Verfahren

Die Vergabe erfolgt in zwei Losen (Los 1: FIB, Los 2: TEM). Bieter, die Angebote für beide Lose abgeben, können zusätzlich ein Gesamtangebot (Kombinationsangebot) einreichen. Das Kombinationsangebot muss auf den angebotenen Einzel-Angeboten zu beiden Losen basieren; der Leistungsumfang des Kombinationsangebotes muss den Leistungsumfängen der Angebote auf die Einzellose entsprechen.

Das Kombinationsangebot ist zusätzlich zu den losweisen Angeboten einzureichen und muss:
- einen gesonderten Gesamtpreis für beide Lose (unter Berücksichtigung etwaiger Preisvorteile, z. B. Rabatte),
sowie
- eine Darstellung eines etwaigen losübergreifenden wissenschaftlichen, technischen, funktionalen oder organisatorischen Mehrwerts einer gemeinsamen Präparations- und Analytikplattform enthalten.

Etwaige Preisvorteile werden ausschließlich im Zuschlagskriterium "Preis" berücksichtigt.
Ein losübergreifender Mehrwert wird ausschließlich im Zuschlagskriterium "Technik" bewertet und setzt voraus, dass dieser über die Bewertung der Einzellose hinausgeht und sich aus dem Zusammenwirken beider Systeme ergibt.

Die Bewertung der Kombinationsangebote erfolgt nach denselben Zuschlagskriterien. Zusätzlich werden losübergreifende Aspekte wie die vollständige wissenschaftliche Prozesskette einer Probe - von der Präparation im FIB über den qualitätserhaltenden Probentransfer und die korrelative Untersuchung im TEM bis hin zum gemeinsamen Datenmanagement und der nachvollziehbaren Dokumentation der Untersuchungsergebnisse berücksichtigt.

Der Auftraggeber behält sich vor, den Zuschlag entweder losweise oder losübergreifend zu erteilen.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Besondere Methoden und Instrumente im Vergabeverfahren

Angaben zur Rahmenvereinbarung

Entfällt

Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem

Entfällt

Angaben zur elektronischen Auktion

Angaben zur Wiederkehr von Aufträgen

Angaben zur Wiederkehr von Aufträgen

Strategische Auftragsvergabe

Strategische Auftragsvergabe

Gesetz über die Beschaffung sauberer Straßenfahrzeuge

Energieeffizienz-Richtlinie

Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen

Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen

Zulässig
Auftragsunterlagen

Sprache der Auftragsunterlagen

Deutsch
Sonstiges / Weitere Angaben

Kommunikationskanal


https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4DNMMUBY

Einlegung von Rechtsbehelfen

Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

Der Antrag ist unzulässig, soweit

- der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
- Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
- Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
- mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB. § 134 Abs. 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Anwendbarkeit der Verordnung zu drittstaatlichen Subventionen

Zusätzliche Informationen

Angebote

Anforderungen an Angebote / Teilnahmeanträge

Übermittlung der Angebote / Teilnahmeanträge

Anforderungen an die Form bei elektronischer Übermittlung

Sprache(n), in der (denen) Angebote / Teilnahmeanträge eingereicht werden können

Deutsch

Varianten / Alternativangebote

Elektronische Kataloge

Nicht zulässig

Mehrere Angebote pro Bieter

Zulässig
Verwaltungsangaben

Bindefrist

77
Tage

Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Nachforderung

Eine Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.

Die Vergabestelle behält sich vor, fehlende Angaben und Erklärungen nachzufordern. Ein Anspruch der Bieter besteht nicht (§ 56 VgV). Angebote, die nicht die geforderten oder gegebenenfalls nachgeforderten Erklärungen und Nachweise enthalten, werden nach § 57 Abs. 1 Nr. 2 VgV ausgeschlossen.

Bedingungen

Ausschlussgründe

Ort der Angabe der Ausschlussgründe

Auswahl der Ausschlussgründe

Teilnahmebedingungen

Eignungskriterien / Ausschreibungsbedingungen

Eignungskriterium

Referenzen zu bestimmten Lieferungen

Eignungskriterium ist die Vorlage von 3 Referenzen zu vergleichbaren Installationen. Bei Angeboten für ein Los sind Referenzen für vergleichbare Systeme des jeweiligen Loses vorzulegen. Bei Angeboten für beide Lose können Referenzen für beide Systemtypen oder vergleichbare integrierte Systeme eingereicht werden.

Als vergleichbare Referenzen gelten erfolgreich durchgeführte Liefer-, Installations- und Inbetriebnahmeprojekte von Systemen, die in Art, Funktion und Komplexität dem jeweils angebotenen Los entsprechen (Los 1: DualBeam FIB bzw. vergleichbare FIB/SEM-Systeme; Los 2: TEM bzw. vergleichbare Elektronenmikroskope).
Die Referenzen müssen den vollständigen Leistungsumfang (Lieferung, Installation, Inbetriebnahme, betriebsbereite Übergabe sowie Einweisung) umfassen und in einem wissenschaftlichen oder industriellen High-Tech-Umfeld erbracht worden sein. Sie dürfen zum Zeitpunkt des Ablaufs der Angebotsfrist nicht älter als drei Jahre sein.

Finanzierung

Rechtsform des Bieters

Bedingungen für den Auftrag

Bedingungen für den Auftrag

Angaben zu geschützten Beschäftigungsverhältnissen

Nein

Angaben zur reservierten Teilnahme

Angaben zur beruflichen Qualifikation

Nicht erforderlich

Angaben zur Sicherheitsüberprüfung

Lose

Angaben zu den Losen
2
2

Los - Allgemeine Angaben

Losinformationen
Dual Beam Focused Ion Beam System (FIB)
1

Auftragsgegenstand

Klassifikation des Auftrags
Lieferungen

CPV-Codes

38000000-5
Umfang der Beschaffung

Beschreibung der Beschaffung (Art und Umfang der Dienstleistung bzw. Angabe der Bedürfnisse und Anforderungen)

Ziel dieses Beschaffungsvorhabens ist die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie betriebsbereite Übergabe eines Dual-Beam-FIB/REM-Systems (Focused Ion Beam / Rasterelektronenmikroskop) einschließlich analytischer Detektorsysteme, Schulung und vollständiger Systemdokumentation.
Das System dient primär der präzisen Probenpräparation (u.a. TEM-Lamellen, APT-Spitzen, Querschnitte und Defektfreilegungen) und sekundär der hochauflösenden bildgebenden, chemischen und strukturellen Charakterisierung (SEM, EDX, STEM, EBSD) im selben System.
Das Gerät wird als zentrale Präparations- und Analyseplattform für wissenschaftliche Forschungsprojekte eingesetzt. Typische Anwendungen umfassen u. a. Batterie- und Elektrodenmaterialien, Wasserstoffspeichermaterialien, katalytische Schichten, Metalle/Legierungen, keramische Werkstoffe, Halbleiter, Beschichtungen und Multilayer-Systeme.

Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf:
- reproduzierbarer, möglichst automatisierter TEM-Lamellen- und APT-Präparation (Lift-Out, Thinning, Polishing)
- 3D-Analytik (Serienschliff/Tomographie) mit quantitativer Auswertung
- hochaufgelöster Abbildung in verschiedenen SEM-Modi incl. Ioneninduzierter Sekundärionen sowie korrelierter Bildgebung während der Bearbeitung
- chemischer Analytik mittels EDX und kristallographischer Analytik mittels EBSD

Darüber hinaus ist eine strukturierte Erfassung und Exportfähigkeit von Messdaten und Metadaten in gängige, nicht-proprietäre Formate erforderlich, um Anforderungen an Nachvollziehbarkeit, Langzeitverfügbarkeit und Forschungsdatenmanagement (FAIR-Prinzipien) zu erfüllen.

Das System muss die präzise Probenpräparation und -strukturierung mittels Ionenstrahl sowie die begleitende und nachfolgende Abbildung und Analytik mittels SEM und anderen Detektorsystemen ermöglichen.
Ziel ist die reproduzierbare Präparation von Proben für TEM und APT sowie die Durchführung von 2D/3D-Analysen (Bildgebung (SE, STEM), EDX, EBSD) einschließlich vollständiger Dokumentation der Bearbeitungs- und Messparameter.

Folgende Kernfunktionen sind zwingend bereitzustellen:
1. Materialabtrag/Strukturierung (manuell und automatisiert) mit definierbaren Pattern- und Rezeptfunktionen.
2. TEM-Lamellenpräparation inkl. In-situ Lift-Out, Thinning und abschließender Feinpolitur.
3. APT-Spitzenpräparation (Needle Milling) inkl. reproduzierbarer Geometrie.
4. Korrelierte Echtzeit-Bildgebung im SEM während der FIB-Bearbeitung (Navigation/Endpunktkontrolle).
5. Chemische Analytik mittels EDX sowie kristallographische Analytik mittels EBSD (Punkt, Linie, Mapping).
6. 3D-Workflows (Serienschliff/Tomographie) mit dokumentierter Rekonstruktion bzw. Export der Datensätze.
7. Workflow und Datenmanagement: eindeutige Zuordnung von Bearbeitungs-/Messdaten, Parametern und Metadaten; Export in nicht proprietäre Formate.

Umfang der Auftragsvergabe

EUR

Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Erfüllungsort(e)

Erfüllungsort(e)

Zuschlagskriterien

Zuschlagskriterien

Weitere Informationen

Angaben zu Mitteln der europäischen Union

Angaben zu KMU

Angaben zu Optionen

Zusätzliche Angaben

Verfahren

Besondere Methoden und Instrumente im Vergabeverfahren

Angaben zur elektronischen Auktion

Strategische Auftragsvergabe

Strategische Auftragsvergabe

Gesetz über die Beschaffung sauberer Straßenfahrzeuge

Energieeffizienz-Richtlinie

Angebote

Anforderungen an Angebote / Teilnahmeanträge

Elektronische Kataloge

Bedingungen

Teilnahmebedingungen

Los - Allgemeine Angaben

Losinformationen
Transmissionselektronenmikroskop (TEM)
2

Auftragsgegenstand

Klassifikation des Auftrags
Lieferungen

CPV-Codes

38000000-5
Umfang der Beschaffung

Beschreibung der Beschaffung (Art und Umfang der Dienstleistung bzw. Angabe der Bedürfnisse und Anforderungen)

Gegenstand des Beschaffungsvorhabens ist die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie betriebsbereite Übergabe eines aberrationskorrigierten 200 kV Transmissionselektronenmikroskops (S/TEM) einschließlich analytischer Detektorsysteme, Schulung und vollständiger Systemdokumentation.
Das System dient als zentrale Analyseplattform für die hochauflösende strukturelle, chemische und elektronische Charakterisierung von Materialien auf atomarer und nanometergenauer Skala. Es wird sowohl für industrielle Auftragsanalytik als auch für wissenschaftliche Forschungsprojekte eingesetzt.
Im Institut werden Materialien mit stark variierenden Eigenschaften untersucht, insbesondere Metalle, Legierungen, keramische Werkstoffe, Halbleiter, Beschichtungen, funktionale Schichtsysteme sowie nanostrukturierte Materialien. Die Proben unterscheiden sich hinsichtlich Geometrie, Stabilität gegenüber Elektronenstrahlbelastung sowie analytischer Fragestellungen.

Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf:
- hochauflösender Abbildung bis in den atomaren Bereich
- chemischer Analytik mittels EDX und EELS
- Untersuchung von Grenzflächen und Defekten
- Untersuchung magnetischer und funktionaler Materialien
- reproduzierbaren Messungen über Probenserien hinweg

Darüber hinaus ist eine strukturierte Erfassung und Exportfähigkeit von Messdaten und Metadaten in gängige, nicht-proprietäre Formate erforderlich, um Anforderungen an Nachvollziehbarkeit, Langzeitverfügbarkeit und Forschungsdatenmanagement (FAIR-Prinzipien) zu erfüllen.

Das System muss die hochauflösende strukturelle, chemische und elektronische Analyse von festen, elektronenstrahlstabilen Proben im Transmissionselektronenmikroskopie- und Raster-Transmissionselektronenmikroskopie-Modus ermöglichen. Hierzu muss es eine präzise Elektronenoptik, stabile Betriebsbedingungen sowie integrierte analytische Detektionssysteme bereitstellen.
Ziel ist die Untersuchung von Materialien bis in den atomaren Maßstab sowie die quantitative und qualitative Analyse von Struktur, Zusammensetzung und elektronischen Eigenschaften.

Folgende Kernfunktionen sind zwingend bereitzustellen:

1. Hochauflösende Abbildung (TEM und STEM):
- Abbildung von Kristallstrukturen, Defekten, Grenzflächen und Nanostrukturen mit atomarer bzw. sub-nanometergenauer Auflösung.
- Betrieb sowohl im konventionellen TEM- als auch im STEM-Modus.
- Flexible Wahl geeigneter Abbildungsmodi (z. B. Bright Field, Dark Field, HAADF, ABF, Oberflächenbildgebung mit topografieabhängigem Kontrast).
2. Chemische und spektroskopische Analytik:
- Elementanalytik mittels energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX).
- Analyse elektronischer und chemischer Zustände mittels Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS).
- Durchführung von Punktanalysen, Linienprofilen sowie zweidimensionalem Mapping.
3. Untersuchung von Grenzflächen und Defekten:
- Analyse von Phasengrenzen, Ausscheidungen, Korngrenzen und strukturellen Inhomogenitäten.
- Untersuchung lokaler chemischer Variationen auf nanoskaliger Ebene.
4. Untersuchung funktionaler und magnetischer Materialien:
- Möglichkeit zur magnetfeldfreien oder feldarmen Abbildung (z. B. Lorentz-Modus oder funktional gleichwertig), soweit erforderlich.
5. Automatisierter und reproduzierbarer Betrieb:
- Reproduzierbare Einstellung von Messparametern und Speicherung von Messabläufen.
- Unterstützung automatisierter Messreihen und Mapping-Experimente.
6. Workflow und Datenmanagement:
- Eindeutige Zuordnung von Messdaten, Parametern und Metadaten.
- Möglichkeit zur späteren Reproduktion von Messbedingungen.
7. Integration aller Detektoren und Betriebsmodi in eine konsistente Bedienumgebung.

Umfang der Auftragsvergabe

EUR

Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Erfüllungsort(e)

Erfüllungsort(e)

Zuschlagskriterien

Zuschlagskriterien

Weitere Informationen

Angaben zu Mitteln der europäischen Union

Angaben zu KMU

Angaben zu Optionen

Zusätzliche Angaben

Verfahren

Besondere Methoden und Instrumente im Vergabeverfahren

Angaben zur elektronischen Auktion

Strategische Auftragsvergabe

Strategische Auftragsvergabe

Gesetz über die Beschaffung sauberer Straßenfahrzeuge

Energieeffizienz-Richtlinie

Angebote

Anforderungen an Angebote / Teilnahmeanträge

Elektronische Kataloge

Bedingungen

Teilnahmebedingungen