Die Leibniz Universität Hannover, Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt die Beschaffung eines Lithographieclusters. Die Beschaffung soll die Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung des Lithographieclusters beinhalten.

Im Rahmen der Forschungsarbeiten im Bereich der Quantentechnologien planen wir die Beschaffung eines kompakten Lithographieclusters, welches künftig als zentrale Plattform für die Herstellung und Weiterentwicklung mikro- und nanostrukturierter Proben bis zu 8" eingesetzt werden soll.

Das System muss eine hohe Reproduzierbarkeit, Flexibilität und Prozesssicherheit gewährleisten, um sowohl bewährte Verfahrensabläufe unter konstanten Bedingungen abzubilden als auch die Entwicklung neuer Prozesse zu ermöglichen.

Die Ausschreibung umfasst vier Hauptmodule:
- Automatisches Schleuderbeschichtungsmodul für Fotolacke (Modul 1)
- Automatisches Sprühbeschichtungsmodul für Fotolacke (Modul 2)
- Automatisches Entwicklungsmodul, lösemittelbasiert (Modul 3)
- Automatisches Entwicklungs- und Reinigungsmodul, wasserbasiert (Modul 4)

Ergänzend dazu sind folgende Funktionsbausteine vorgesehen, die für einen reibungslosen Betrieb unerlässlich sind:

Beladungsstation, Probenhandhabung mittels Roboter, automatische Zentrierung, die automatische Aufbringung eines Haftvermittlers (z. B. HMDS) sowie Heizplatten zur Vor- und Nachbehandlung der Substrate. Von besonderer Bedeutung ist, dass das gesamte System als kompakte und vollständig integrierte Lösung konzipiert ist, da das System in einem vorhandenen Reinraum mit begrenztem Platzangebot integriert werden muss.
Kurze Umrüstzeiten für den Austausch von Fotolacken oder Entwicklerflüssigkeiten, eine benutzerfreundliche Bedienoberfläche, sowie hohe Service und Ersatzteilverfügbarkeit sind deshalb fester Bestandteil unserer Anforderungen.
Besonderes Augenmerk wird ebenfalls auf die Nachhaltigkeitsziele der Abfallvermeidung, der Schadstoffminimierung in Abfällen, der Abfallverwertung, des Ressourcenschutzes sowie Einsparung von Energie und Wasser gelegt.

Neben der Lieferung frei Verwendungsstelle des Hauptgeräts umfasst der Leistungsumfang die Montage, Inbetriebnahme sowie anschließender Abnahme des Systems und die Einweisung.

Der gewünschte Liefertermin ist der 01.12.2026. Alle Liefertermine, die vor dem 01.12.2026 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet

Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.600.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten.

Den Zuschlag wird das wirtschaftlichste Angebot bekommen.

Bei der Ermittlung des wirtschaftlich günstigsten Angebots werden die Kriterien des beigefügten Leistungsverzeichnisses angewendet. Mit dem Buchstaben A werden Ausschlusskriterien gekennzeichnet. Die Nichterfüllung einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung führt zum Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium). Mit dem Buchstaben B werden Bewertungskriterien gekennzeichnet. Die mit einem "B" gekennzeichneten Anforderungen stellen die innerhalb der Bewertungsskala mit Punkten zu bewertenden Kriterien dar und erhalten eine Gewichtung. Wenn aufgelistet, werden für jedes Bewertungskriterium 0 bis 10 Punkte vergeben, die mit dem angegebenen Gewichtungsfaktor in die Endpunktzahl eingehen. Das Feld Pflichtangaben ist vollständig auszufüllen. Wenn Felder "ja/nein" enthalten, ist hier die Angabe anzukreuzen, die angeboten wird.

Die Vergabe erfolgt nach dem Niedersächsischen Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG). Dieses Gesetz soll Verzerrungen im Wettbewerb um öffentliche Aufträge entgegenwirken, die durch den Einsatz von Niedriglohnkräften entstehen, Belastungen für die sozialen Sicherungssysteme mildern sowie die umwelt- und sozialverträgliche Beschaffung durch die öffentliche Hand fördern. Entsprechende Angaben hierzu müssen dem Angebot beigefügt werden.

Ihr ausführliches - unterschriebenes bzw. digital signiertes - Angebot muss bis zum 13.11.2025 um 10.00 Uhr im Vergabeportal hochgeladen sein.

Die Zuschlagsfrist wird auf den 15.12.2025 festgesetzt. Die Zuschlagserteilung wird aber ggf. auch früher erfolgen. Bis zum Ablauf dieser Frist sind Sie an Ihr Angebot gebunden.

Weitere Informationen zu den Anforderungen sowie Zuschlags-und Bewertungskriterien entnehmen Sie bitte dem beigefügten Leistungsverzeichnis.

Eventuelle Fragen zum Leistungsverzeichnis bitte ich über das Vergabeportal zu stellen.

Eventuelle Abweichungen vom Leistungsverzeichnis sind kenntlich zu machen, bzw. gesondert darzustellen.

Für die Beschaffung gelten die Allgemeinen Einkaufs-und Lieferbedingungen der Leibniz Universität Hannover. Abweichungen bzw. eigens formulierte Einkaufs-oder Lieferbedingungen stellen eine Änderung der Vergabeunterlagen dar, welche einen zwangsweisen Ausschluss des Angebotes nach sich zieht.

Gem. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB ist ein Antrag auf Durchführung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig soweit:

1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt;

2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden;

3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden;

4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Es dürfen keine wesentlichen Angebotsbestandteile nachgereicht werden, die zur Wertung des Angebots erforderlich sind (z.B. Preise oder Leistungen, die den Angebotsinhalt grundlegend verändern können).

Sollten Anzahlungen gewünscht bzw. vereinbart werden, so sind diese nur gegen eine für den Auftraggeber kostenlose Bankbürgschaft möglich.

Der gewünschte Liefertermin ist der 01.12.2026. Liefertermine nach diesem Datum werden mit einem Punktabzug versehen. (siehe Bewertungsschema)

Alle Liefertermine, die vor dem 01.12 2026 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet

Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.600.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten.

Für die Beschaffung gelten die Allgemeinen Einkaufs-und Lieferbedingugen der Leibniz Universität Hannover, die Sie unter der Rubrik "Vergabeunterlagen" finden.

Bitte beachten Sie, dass Änderungen bzw. eigens formulierte Einkaufs-oder Lieferbedingungen eine Änderung der Vergabeunterlagen darstellen, die einen Ausschluss der Angebotes nach sich zieht.

Anzahlungen sind nur gegen eine für den Auftraggeber kostenlose Bankbürgschaft möglich.