Verfahrensangaben

Gegenstand des Beschaffungsvorhabens ist die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie betriebsbereite Übergabe eines Systems zur Sekundärionen-Massenspektrometrie mit Flugzeit-Massenspektrometer (ToF-SIMS) einschließlich Einweisung/Schulung und vollständiger Systemdokumentation.

Das System wird als zentrale Analyseplattform für hochaufgelöste chemische Oberflächencharakterisierung, bildgebende Analytik (2D-Imaging) sowie Tiefenprofilierung und 3D-Rekonstruktion eingesetzt. Es dient wissenschaftlichen und anwendungsnahen Fragestellungen in der industriellen und universitären Forschung sowie der Auftragsforschung und wird in Kooperationsprojekten mit Industriepartnern und Forschungseinrichtungen genutzt.
Im Institut werden Proben mit stark variierenden Eigenschaften untersucht. Diese unterscheiden sich insbesondere hinsichtlich Materialklassen (z. B. Metalle und Legierungen, Halbleiter, Gläser, Keramiken, Polymere), Geometrie, Oberflächenzustand, Kontaminations- und Schichtsystemen sowie analytischer Fragestellungen. Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf der Analyse von Oberflächen und Schichtsystemen, inklusive der Identifikation komplexer Spezies und der quantitativen/vergleichenden Bewertung von Signalen über Messreihen hinweg.
Zur Sicherstellung reproduzierbarer und nachvollziehbarer Ergebnisse muss das System einen stabilen UHV-Betrieb, eine hohe Massenauflösung/Massengenauigkeit, eine hohe laterale Auflösung für bildgebende Verfahren sowie einen kontrollierten Materialabtragung für Tiefenprofile bereitstellen. Darüber hinaus ist eine strukturierte Erfassung und Exportfähigkeit von Messdaten und Metadaten in gängige, nicht-proprietäre Formate erforderlich, um Anforderungen an Nachvollziehbarkeit, Langzeitverfügbarkeit und Forschungsdatenmanagement (FAIR-Prinzipien) zu erfüllen.

Das System muss mindestens folgende Komponenten/Funktionen umfassen (funktionsorientiert; Umsetzung herstellerunabhängig zulässig, sofern Anforderungen erfüllt sind):

- UHV-Analysekammer (Rezipient) für optimierte Vakuumbedingungen incl. Probenschleuse, geeigneter Probenhandhabung und Beobachtungsmöglichkeit in Analyseposition (Kamera/Optik oder funktional gleichwertig).
- ToF-Massenspektrometer einschließlich MS/MS-Funktionalität (Tandem-MS) oder funktional gleichwertiger Lösung zur verbesserten Identifikation/Strukturaufklärung.
- Analyse-Ionenquelle (z. B. Bi-LMIG-basiert oder funktional gleichwertig) zur hochauflösenden, bildgebenden SIMS-Analyse.
- Sputter-Ionenquelle(n) für kontrollierten Materialabtrag/Tiefenprofilierung (z.B. Cs und O2/Ar Ionenkanone oder funktional gleichwertig) mit stabiler Stromabgabe über lange Messzeiten.
- Cluster-Ionenquelle (z. B. Ar-Cluster, ggf. O2-Cluster oder funktional gleichwertig), inkl. Option zur Analyse/Imaging-Nutzung, soweit gefordert.
- FIB-Funktion zum Schneiden und zur Tomografie in der Analyseposition mittels zusätzlicher LMIG- Quelle
- Ladungskompensation (Electron Flood Gun oder funktional gleichwertig).
- Probenhalter-Grundausstattung inkl. Montagematerial sowie definierte Möglichkeiten zur Aufnahme großer Proben (insb. Wafer bis 300 mm).
- Gasinstallationen/Versorgung für die im System integrierten Quellen (Arbeitsgase) inkl. erforderlicher sicherheitstechnischer Komponenten.
- Steuer- und Auswertesoftware inkl. Lizenzen; Offline-Auswertung auf separaten Rechnern muss möglich sein.
- Steuerrechner (Windows 11 Pro, LAN-Anbindung, Remote-Nutzung oder gleichwertige), kompatible Bereitstellung gemäß IT-Anforderungen.

Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

Der Antrag ist unzulässig, soweit

- der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
- Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
- Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
- mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB. § 134 Abs. 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.

Die Vergabestelle behält sich vor, fehlende Angaben und Erklärungen nachzufordern. Ein Anspruch der Bieter besteht nicht (§ 56 VgV). Angebote, die nicht die geforderten oder gegebenenfalls nachgeforderten Erklärungen und Nachweise enthalten, werden nach § 57 Abs. 1 Nr. 2 VgV ausgeschlossen.