Art der Leistung
Die Universität Kassel schreibt die betriebsbereite Lieferung einer automatisierten Mehrtarget-Magnetronsputteranlage zur Dünnschichtentwicklung aus. Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf der Beschichtung von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm. Die Anlage wird im Reinraum der Universität eingesetzt.

Die Ausstattung umfasst drei 2-Zoll-Magnetronsputterquellen, ein DC-Netzteil mit 500 W und zwei Ausgängen, ein bipolares Pulsed-DC-Netzteil mit 1 kW und zwei Ausgängen sowie drei getrennt regelbare Prozessgasleitungen. Erforderlich sind außerdem ein rotierender, reaktivgasbeständiger Substrattisch mit einer Heiztemperatur bis mindestens 600 °C, eine Bias-Aufrüstung und motorisierte Blenden. Eine PC-gestützte Steuerung mit programmierbaren Prozessabläufen soll reproduzierbare Beschichtungen und einen hohen Probendurchsatz ermöglichen.

Zum Leistungsumfang gehören die erforderliche Steuerungs- und Computerausstattung einschließlich Software, Lieferung, Installation, Inbetriebnahme, Einweisung des Bedienpersonals, Dokumentation und Garantie.

Umfang der Leistung
Den genauen Leistungsumfang entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.

1. Nachweis über die erfolgreiche Ausführung von mindes-tens drei vergleichbaren Projekten innerhalb der letzten zwei Jahre. Vergleichbar heißt sowohl in Umfang, finan-ziellem Aufwand und technischer Anforderung. Die Be-schreibung der Projekte erfolgt mit aussagekräftigen Un-terlagen, die aus denen obige Angaben zu entnehmen sind sowie der Benennung eines durch den Auftragge-ber unverbindlich zu kontaktierenden Ansprechpartners. Bitte geben Sie an: Auftragswerte, Bezeichnung des jew. Lieferumfangs, Adressangaben und Angabe der dortigen Ansprechpartner
5. Nachweis der Eintragung im Berufs- oder Handelsregister
6. ggf.) Einsatz von Unterauftragnehmern

3. Bescheinigung der zuständigen Stelle des Mitgliedstaates, aus der hervorgeht, dass der Bieter seine Verpflichtungen zur Zahlung der Sozialbeiträge nach den Rechtsvorschriften des Landes des öffentlichen Auftraggebers erfüllt hat.

2. Auflistung der Service-Standorte, getrennt nach inner-deutschen, europäischen und weltweiten, Informationen über die Sicherstellung von Wartung und Service sowie mit Ersatzlieferungen (Wartung, Verfügbarkeit des Ser-vicepersonals, Reaktionszeiten, ...).

4. Verpflichtungserklärung zu Tariftreue und Mindestent-gelt bei öffentlichen Aufträgen nach dem Hessischen Vergabe- und Tariftreuegesetz (HVTG) (siehe bereit gestellter Vordruck)
6. ausgefüllter Vordruck Erklae-rung_Unternehmensdaten.pdf
7. Eigenerklärung für nicht präqualifizierte Unternehmen VHB 124